產(chǎn)品簡(jiǎn)介
鑒于泄漏無(wú)法避免的現(xiàn)實(shí)，工程師需要面對(duì)的關(guān)鍵問(wèn)題通常就變成：“多大的泄漏必須干預(yù)？”為了解決這個(gè)問(wèn)題，安捷倫開(kāi)發(fā)了全新氦質(zhì)譜檢漏儀 (HLD)，匯聚了眾多安捷倫關(guān)鍵創(chuàng)新，包括全新的用戶界面，優(yōu)化的使用性能及維護(hù)成本。
PRODUCT CENTER
產(chǎn)品中心
氦質(zhì)譜檢漏儀
產(chǎn)品概述
鑒于泄漏無(wú)法避免的現(xiàn)實(shí)，工程師需要面對(duì)的關(guān)鍵問(wèn)題通常就變成：“多大的泄漏必須干預(yù)？”為了解決這個(gè)問(wèn)題，安捷倫開(kāi)發(fā)了全新氦質(zhì)譜檢漏儀 (HLD)，匯聚了眾多安捷倫關(guān)鍵創(chuàng)新，包括全新的用戶界面，優(yōu)化的使用性能及維護(hù)成本。
安捷倫氦質(zhì)譜檢漏儀
鑒于泄漏無(wú)法避免的現(xiàn)實(shí)，工程師需要面對(duì)的關(guān)鍵問(wèn)題通常就變成：“多大的泄漏必須干預(yù)？”
為了解決這個(gè)問(wèn)題，安捷倫開(kāi)發(fā)了全新氦質(zhì)譜檢漏儀 (HLD)，匯聚了眾多安捷倫關(guān)鍵創(chuàng)新，包括全新的用戶界面，優(yōu)化的使用性能及維護(hù)成本。
參數(shù)設(shè)置從未如此簡(jiǎn)單
安捷倫 HLD 氦質(zhì)譜檢漏儀專(zhuān)為簡(jiǎn)便易用和優(yōu)化性能而設(shè)計(jì)，無(wú)需猜測(cè)，避免浪費(fèi)時(shí)間或造成嚴(yán)重錯(cuò)誤。對(duì)于大多數(shù)常見(jiàn)應(yīng)用（吸槍、氦氣噴槍、高靈敏度和自動(dòng)排序器等），用戶可以訪問(wèn)適合的應(yīng)用界面并按照向?qū)д_設(shè)置參數(shù)。直觀的觸摸屏界面為操作人員、工藝工程師和維護(hù)技術(shù)人員提供 8 種語(yǔ)言并且有不同的安全級(jí)別可供選擇。
值得信賴的安捷倫可靠性
HLD氦質(zhì)譜檢漏儀中的全部組件均由安捷倫制造并提供支持。該解決方案擁有一年的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)保期（提供兩年和三年質(zhì)保的可選配置），并享有全球服務(wù)、全球備件網(wǎng)絡(luò)以及各種訂制化服務(wù)合同的支持。憑借卓越的使用維護(hù)成本、實(shí)際應(yīng)用性能和易用性等優(yōu)勢(shì)，安捷倫 HLD 氦質(zhì)譜檢漏儀樹(shù)立了可靠檢漏的新標(biāo)準(zhǔn)。
安捷倫 HLD：創(chuàng)新與信心
氦質(zhì)譜檢漏是對(duì)泄漏定位或準(zhǔn)確定量檢測(cè)的一種快速、靈敏和可靠的方法，可以快速解決影響各種部件和系統(tǒng)質(zhì)量或使用壽命的泄漏問(wèn)題。安捷倫 HLD 的創(chuàng)新技術(shù)旨在大程度提高易用性、性能和可靠性，使您高枕無(wú)憂，代表了我們持久專(zhuān)注檢測(cè)技術(shù)的新成果。
安捷倫 HLD 具有佳性能和效率
-六種不同的應(yīng)用設(shè)置向?qū)Э蓭椭脩魧x器正確配置到佳性能：
氦氣噴槍 高靈敏度
吸槍 PPM 吸槍
自動(dòng)排序器 分流
-安捷倫質(zhì)量/可靠性，享有一年的質(zhì)保期
-無(wú)線手持式遙控可以實(shí)現(xiàn)單人在遠(yuǎn) 100 米的位置對(duì)大型系統(tǒng)進(jìn)行檢漏
-八種語(yǔ)言增強(qiáng)了全球范圍的可用性
-更大的工作臺(tái)面積為測(cè)試部件和工具等提供了充足的空間
-開(kāi)機(jī)向?qū)軌驇椭脩粼诮油娫春髮?duì)儀器進(jìn)行設(shè)置
-改進(jìn)的關(guān)機(jī)程序能夠使檢漏儀處于真空環(huán)境并保護(hù)真空泵
-易于操作，簡(jiǎn)化維修
-氮?dú)馄瓶湛谑菢?biāo)準(zhǔn)配置
-模擬量、RS232 和獨(dú)立的 IO 接口等不同配置幫助您與其它設(shè)備輕松互聯(lián)
安捷倫 HLD 型號(hào)命名指南
示例：MR30 是移動(dòng)式旋片泵配置，抽速 30 m3/h
安捷倫氦質(zhì)譜檢漏儀
鑒于泄漏無(wú)法避免的現(xiàn)實(shí)，工程師需要面對(duì)的關(guān)鍵問(wèn)題通常就變成：“多大的泄漏必須干預(yù)？”
為了解決這個(gè)問(wèn)題，安捷倫開(kāi)發(fā)了全新氦質(zhì)譜檢漏儀 (HLD)，匯聚了眾多安捷倫關(guān)鍵創(chuàng)新，包括全新的用戶界面，優(yōu)化的使用性能及維護(hù)成本。
參數(shù)設(shè)置從未如此簡(jiǎn)單
安捷倫 HLD 氦質(zhì)譜檢漏儀專(zhuān)為簡(jiǎn)便易用和優(yōu)化性能而設(shè)計(jì)，無(wú)需猜測(cè)，避免浪費(fèi)時(shí)間或造成嚴(yán)重錯(cuò)誤。對(duì)于大多數(shù)常見(jiàn)應(yīng)用（吸槍、氦氣噴槍、高靈敏度和自動(dòng)排序器等），用戶可以訪問(wèn)適合的應(yīng)用界面并按照向?qū)д_設(shè)置參數(shù)。直觀的觸摸屏界面為操作人員、工藝工程師和維護(hù)技術(shù)人員提供 8 種語(yǔ)言并且有不同的安全級(jí)別可供選擇。
值得信賴的安捷倫可靠性
HLD氦質(zhì)譜檢漏儀中的全部組件均由安捷倫制造并提供支持。該解決方案擁有一年的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)保期（提供兩年和三年質(zhì)保的可選配置），并享有全球服務(wù)、全球備件網(wǎng)絡(luò)以及各種訂制化服務(wù)合同的支持。憑借卓越的使用維護(hù)成本、實(shí)際應(yīng)用性能和易用性等優(yōu)勢(shì)，安捷倫 HLD 氦質(zhì)譜檢漏儀樹(shù)立了可靠檢漏的新標(biāo)準(zhǔn)。
安捷倫 HLD：創(chuàng)新與信心
氦質(zhì)譜檢漏是對(duì)泄漏定位或準(zhǔn)確定量檢測(cè)的一種快速、靈敏和可靠的方法，可以快速解決影響各種部件和系統(tǒng)質(zhì)量或使用壽命的泄漏問(wèn)題。安捷倫 HLD 的創(chuàng)新技術(shù)旨在大程度提高易用性、性能和可靠性，使您高枕無(wú)憂，代表了我們持久專(zhuān)注檢測(cè)技術(shù)的新成果。
安捷倫 HLD 具有佳性能和效率
-六種不同的應(yīng)用設(shè)置向?qū)Э蓭椭脩魧x器正確配置到佳性能：
氦氣噴槍 高靈敏度
吸槍 PPM 吸槍
自動(dòng)排序器 分流
-安捷倫質(zhì)量/可靠性，享有一年的質(zhì)保期
-無(wú)線手持式遙控可以實(shí)現(xiàn)單人在遠(yuǎn) 100 米的位置對(duì)大型系統(tǒng)進(jìn)行檢漏
-八種語(yǔ)言增強(qiáng)了全球范圍的可用性
-更大的工作臺(tái)面積為測(cè)試部件和工具等提供了充足的空間
-開(kāi)機(jī)向?qū)軌驇椭脩粼诮油娫春髮?duì)儀器進(jìn)行設(shè)置
-改進(jìn)的關(guān)機(jī)程序能夠使檢漏儀處于真空環(huán)境并保護(hù)真空泵
-易于操作，簡(jiǎn)化維修
-氮?dú)馄瓶湛谑菢?biāo)準(zhǔn)配置
-模擬量、RS232 和獨(dú)立的 IO 接口等不同配置幫助您與其它設(shè)備輕松互聯(lián)
安捷倫 HLD 型號(hào)命名指南
示例：MR30 是移動(dòng)式旋片泵配置，抽速 30 m3/h
技術(shù)參數(shù)
安捷倫氦質(zhì)譜檢漏儀規(guī)格
旋片泵檢漏儀
| 配置 | 型號(hào) | 訂購(gòu)號(hào) | 泵類(lèi)型與額定抽速 | 常見(jiàn)應(yīng)用 | 何時(shí)選擇該配置： |
| 便攜式 | PR02 | G8610A | 旋片2 m3/h | – 產(chǎn)品研發(fā) – 小型系統(tǒng) | 需要緊湊型一體式解決方案和/或有輔助泵 的系統(tǒng)時(shí) |
| 臺(tái)式 | BR15 BR30 | G8612A G8612D | 旋片15 或 30 m3/h | – 制冷系統(tǒng)和組件 – 汽車(chē)部件 | 需要快速的檢測(cè)密封組件時(shí) |
| 移動(dòng)式 | MR15 MR30 | G8611A G8611D | – 真空爐 – 工業(yè)鍍膜機(jī) – 壓力容器 – 發(fā)電廠 | 需要檢測(cè)大型系統(tǒng)、需要更高的泵性能或需要移動(dòng)式儀器時(shí) |
干泵檢漏儀
| 配置 | 型號(hào) | 訂購(gòu)號(hào) | 泵類(lèi)型與額定抽速 | 常見(jiàn)應(yīng)用 | 何時(shí)選擇該配置： |
| 便攜式 | PD03 | G8610B | 渦旋式干泵 + 隔膜泵3 m3/h | – 大學(xué)和科學(xué)研究 – 小型系統(tǒng) | 需要潔凈、干燥、緊湊的一體式解決方 案和/或輔助泵的系統(tǒng)時(shí) |
| 臺(tái)式 | BD15 BD30 | G8612C G8612B | 渦旋式干泵 + 隔膜泵15 或 30 m3/h | – 醫(yī)療器械 – 電子元件 | 需要無(wú)油快速的檢測(cè)密封組件時(shí) |
| 移動(dòng)式 | MD15 MD30 | G8611C G8611B | – 大型科學(xué)研究室 – 生物工藝系統(tǒng) – 半導(dǎo)體工廠 | 需要檢測(cè)大型系統(tǒng)、需要更高的泵性能或需要移動(dòng)式儀器時(shí) |
常用配置的規(guī)格
| 環(huán)境氦氣濃度 1000 ppm 時(shí)的小可檢漏率 | 5 × 10-12 atm cc/s：5 × 10-12 mbar L/s：5 × 10-13 Pa m3/s 氦氣 |
| 大測(cè)試接口壓力 | 13 mbar，10 Torr，1330 Pa |
| 測(cè)試接口處的氦氣抽速（精細(xì)測(cè)試） | 1.8 L/s |
| 校準(zhǔn)程序 | 自動(dòng)或手動(dòng)（內(nèi)部或外部） |
| 本底抑制 | 按鍵式自動(dòng)歸零，零點(diǎn)自動(dòng)跟蹤 |
| 用戶界面 | 8.4 英寸 (213 mm) 高清晰度彩色顯示屏，TFT 觸摸屏 |
| 可選擇的語(yǔ)言 | 中文、英語(yǔ)、法語(yǔ)、德語(yǔ)、日語(yǔ)、韓語(yǔ)、俄語(yǔ)和西班牙語(yǔ) |
| 自動(dòng)檢測(cè)循環(huán)（自動(dòng)排序器） | 可編輯的預(yù)抽時(shí)間、測(cè)試時(shí)間、不合格設(shè)定點(diǎn)和壓力設(shè)置 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | < 0.5 s |
| 設(shè)定點(diǎn) | 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置，5 個(gè)設(shè)定點(diǎn)，N/O 或 N/C；3 個(gè)漏率設(shè)置，1 個(gè)壓力設(shè)置， 1 個(gè)音頻設(shè)置 |
| 通訊接口 | RS232 和模擬量（標(biāo)準(zhǔn)），獨(dú)立 IO 接口（可選） |
| 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) | UL/CSA，CE |
| 尺寸（長(zhǎng) × 寬 × 高） | 便攜式或臺(tái)式：625 mm × 403 mm × 517 mm 推車(chē)式：764 mm × 508 mm × 1153 mm |
應(yīng)用領(lǐng)域
-
集成電路 -
芯片 -
晶圓片
