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PRODUCT CENTER

產(chǎn)品中心

分子泵

分子泵

產(chǎn)品簡介

安捷倫提供穩(wěn)定可靠的獨(dú)特渦輪分子真空泵和控制器,在學(xué)術(shù)、科研、納米技術(shù)、分析儀器和工業(yè)等廣泛應(yīng)用中均能提供值得信賴的真空環(huán)境。安捷倫渦輪分子泵抽速范圍為 70-2300 L/s,采用諸多創(chuàng)新設(shè)計(jì),并有全面的測試和可靠的售后支持作為保障。

產(chǎn)品概述

安捷倫提供穩(wěn)定可靠的獨(dú)特渦輪分子真空泵和控制器,在學(xué)術(shù)、科研、納米技術(shù)、分析儀器和工業(yè)等廣泛應(yīng)用中均能提供值得信賴的真空環(huán)境。安捷倫渦輪分子泵抽速范圍為 70-2300 L/s,采用諸多創(chuàng)新設(shè)計(jì),并有全面的測試和可靠的售后支持作為保障。

Agilent TwisTorr 技術(shù)
-抽氣效應(yīng)所需要的動(dòng)量來自于轉(zhuǎn)子盤,這些動(dòng)量被傳遞給氣體分子
-氣體分子被迫沿著定子盤上的螺旋通道運(yùn)動(dòng)。通道的特殊設(shè)計(jì)能夠確保局部抽速恒定并避免反向壓力梯度,以大程度降低功耗

向心抽氣作用
轉(zhuǎn)子盤的下表面區(qū)域能夠?qū)?dòng)量傳遞給氣體分子。
位于 TwisTorr 定子盤上表面的螺旋通道產(chǎn)生向心抽氣作用。
離心抽氣作用
轉(zhuǎn)子盤的上表面區(qū)域能夠?qū)?dòng)量傳遞給氣體分子。

好的性能
-TwisTorr 泵能夠?qū)λ袣怏w提供同級別產(chǎn)品中的抽速
-先進(jìn)的 TwisTorr 技術(shù)還可在市售渦輪分子泵中實(shí)現(xiàn)輕質(zhì)氣體的高壓縮比
-在達(dá)到高性能的同時(shí),新型拖動(dòng)級的設(shè)計(jì)與之前的設(shè)計(jì)相比,平均功耗將降低至四分之一

節(jié)省空間的設(shè)計(jì)
-我們的轉(zhuǎn)子采用經(jīng)過驗(yàn)證的安捷倫一體式轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì),在這種設(shè)計(jì)中,TwisTorr 定子盤置于兩片平滑的轉(zhuǎn)子盤中間,因此能夠通過兩個(gè)串聯(lián)的轉(zhuǎn)子
盤表面實(shí)現(xiàn)抽氣作用
-TwisTorr 定子盤的雙面螺旋通道設(shè)計(jì)將向心和離心抽氣作用進(jìn)行串聯(lián),大大減小了拖動(dòng)級的尺寸

壓縮比
-與尺寸及轉(zhuǎn)速相同的 MacroTorr 拖動(dòng)級相比,單TwisTorr 級的 N2 壓縮比多提高了 100 倍,且不會(huì)降低前級耐壓和抽速

技術(shù)參數(shù)

分子泵規(guī)格

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 集成電路
  • 芯片
  • 晶圓片

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