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產(chǎn)品中心

分子泵機組

分子泵機組

產(chǎn)品簡介

安捷倫制造穩(wěn)定可靠的出色渦輪分子泵系統(tǒng)/機組 (TPS),在實驗室和工業(yè)等廣泛應(yīng)用中均能提供值得信賴的真空環(huán)境。 渦輪分子泵解決方案配備抽速 70–700 L/s 的 TwisTorr FS 系列渦輪分子泵、3–30 m3/h 的 IDP 和 TriScroll 干式前級泵、5–30 m3/h 的 DS 旋片泵以及智能壓力讀數(shù)真空計。 這些創(chuàng)新系統(tǒng)通過模塊化或集成平臺滿足您的所有需求,包括小型輕型渦輪分子泵機組、臺式測量儀和滾動推車渦輪分子泵系統(tǒng)。

產(chǎn)品概述

TPS-mini 渦輪分子泵
TPS-mini 便攜式真空解決方案將 TwisTorr 74 FS 渦輪分子泵和 10 L/min 干式隔膜泵組合到一起,極具競爭優(yōu)勢。該系統(tǒng)在同類產(chǎn)品中體積小、重量輕,可通過抽氣口法蘭將其安裝在實驗臺或直接安裝在系統(tǒng)上的任意位置。一體式顯示器可以從各種主動式真空計讀取系統(tǒng)壓力。
TPS-mini 是一款即用型干式泵組,是小體積真空室和真空計校準(zhǔn)系統(tǒng)的理想真空解決方案。開關(guān)簡單易用,只需輕按一下即可實現(xiàn)高真空度。

特性
-即插即用式設(shè)計可實現(xiàn)簡單的一鍵式操作
-體積小巧且輕便,便于攜帶和集成到任何位置
-一體式電子器件和顯示器可讀取從大氣壓到極限真空的全量程壓力
-嵌入式 70 L/s 渦輪分子泵,可實現(xiàn)低至 1 x 10-8 mbar 的運行
-可使用 Vacuum Link 應(yīng)用程序通過手機實現(xiàn)對渦輪分子泵和壓力的全面控制
-模擬 I/O 可提供系統(tǒng)和壓力驅(qū)動設(shè)定值的準(zhǔn)確控制
-串行 RS232 通信協(xié)議結(jié)合 A-Plus 軟件可實現(xiàn)渦輪分子泵的運行、控制以及系統(tǒng)參數(shù)(即壓力)的記錄
-電壓范圍寬 (90–240 V),可滿足世界各地的運行要求
-通過 CE/CSA 認(rèn)證

TPS 緊湊型渦輪分子泵組
TPS 緊湊型泵組是一種便攜式無油渦輪分子泵機組。配備 TwisTorr 74 FS 或 305 FS 渦輪分子泵,并以安捷倫 3 m3/h (60 L/min) 渦旋式干泵技術(shù)為支撐,以小巧體積提供市面上極快的抽真空速度。大尺寸壓力顯示器能夠讀取各種主動式真空計讀數(shù)。
TPS 緊湊型泵組可以在世界各地的電壓下運行,并通過了 CE/CSA-UL 認(rèn)證。
該系統(tǒng)是大學(xué)實驗室、工業(yè)應(yīng)用和醫(yī)療應(yīng)用中大 100 L 中型真空腔室的理想選擇。開關(guān)簡單易用,只需輕按一下即可實現(xiàn)高真空度。

特征
-用于快速抽真空的集成式 3 m3/h 渦旋式干泵 (IDP-3)
-即插即用式設(shè)計可實現(xiàn)簡單的一鍵式操作
-設(shè)計緊湊,便于攜帶
-一體式電子器件和顯示器可讀取從大氣壓到極限真空的全量程壓力
-可使用 Vacuum Link 應(yīng)用程序通過手機實現(xiàn)對泵的全面控制
-提供多種渦輪分子泵尺寸,可滿足您的應(yīng)用需求
-高渦輪分子泵壓縮比可實現(xiàn)低至 1 x 10-9 mbar 的極限真空度
-模擬 I/O 可提供系統(tǒng)和壓力驅(qū)動設(shè)定值的準(zhǔn)確控制
-串行 RS232 通信協(xié)議結(jié)合 A-Plus 軟件可實現(xiàn)泵的運行、控制以及系統(tǒng)參數(shù)(即壓力)的記錄
-電壓范圍寬 (90–240 V),可滿足世界各地的運行要求
-套裝中包含抽氣口濾網(wǎng)
-通過 CE/CSA 認(rèn)證

TPS-flexy 渦輪分子泵組
Agilent TPS-flexy 渦輪分子泵組是一套靈活、可定制的高真空系統(tǒng)。提供三種前級干泵(IDP-7 渦旋式干泵、IDP-3 渦旋式干泵或 MD-1 隔膜泵)和兩種渦輪分子泵(Twis Torr 74 FS 和 305 FS)選項。提供 40 多種選項,您可以從中找到適合您應(yīng)用的組合
TPS-flexy 包使您可以自行選擇組件并配置系統(tǒng),以應(yīng)對各種挑戰(zhàn)性應(yīng)用??焖購钠脚_上卸下渦輪分子泵,將其直接安裝在系統(tǒng)中,大程度提高抽真空速度。

特征
-靈活性:渦輪分子泵可在數(shù)分鐘內(nèi)從系統(tǒng)中輕松拆卸,并以任意方向安裝在真空室上
-定制化:您可以根據(jù)具體需求從 50 多種配置中進(jìn)行選擇,構(gòu)建理想的系統(tǒng)
-具備真空計讀數(shù)功能,可在渦輪分子泵控制器 LCD 顯示屏上提供實時壓力讀數(shù)
-可使用 Vacuum Link 應(yīng)用程序通過手機實現(xiàn)對泵的全面控制
-可服務(wù)性:對各個組件均提供安捷倫高級更換服務(wù),實現(xiàn)方便快捷的現(xiàn)場更換
-快速到貨:基于標(biāo)準(zhǔn)組件,實現(xiàn)快速配置、接收和組裝
-提供多種渦輪分子泵尺寸,可滿足您的應(yīng)用需求
-提供三種電壓選項(100 V、120 V 和 240 V),可適應(yīng)世界各地的運行要求
-模擬 I/O 可提供系統(tǒng)和壓力驅(qū)動設(shè)定值的準(zhǔn)確控制
-串行 RS232 通信協(xié)議結(jié)合 A-Plus 軟件可實現(xiàn)泵的運行、控制以及系統(tǒng)參數(shù)(即壓力)的記錄

TPS-移動型渦輪分子泵組
TPS 移動型系統(tǒng)是一種位于小體積滾動推車上的可定制大抽速泵組。從 400 多種配置中進(jìn)行選擇,其中包括以 IDP 或 TriScroll 渦旋式干泵(抽速 3–30 m3/h),或 DS 旋片泵(抽速 6–30 m3/h)作為前級泵,泵速范圍為 70–700 L/s 的小型和中型 TwisTorr 渦輪分子泵。TPS 移動型系統(tǒng)的多種選擇包括新的 TwisTorr 305 技術(shù),提供高壓縮比 (TwisTorr 305 FS) 和高通量 (TwisTorr 305 FSQ) 配置。
當(dāng)需要對大型系統(tǒng)抽真空并保持盡可能大的可移動性時,TPS 移動型系統(tǒng)是理想的解決方案。添加正確的真空計以監(jiān)測系統(tǒng)壓力。
有關(guān)采用 TwisTorr 74 FS 或 V-551 渦輪分子泵的 TPS 移動型配置,請聯(lián)系安捷倫以獲取供貨情況和訂購幫助。

特征
-移動性:滾動推車可幫助您將真空泵機組移動至任何所需位置
-靈活性:易于拆卸的渦輪分子泵可以任意方向快速安裝在真空腔室上
-定制化:您可以根據(jù)具體需求從 400 多種配置中進(jìn)行選擇,構(gòu)建理想的系統(tǒng)
-一體式真空計讀數(shù)功能,可顯示系統(tǒng)壓力
-可使用 Vacuum Link 應(yīng)用程序通過手機實現(xiàn)對泵的全面控制
-可服務(wù)性:對各個組件均提供安捷倫高級更換服務(wù),實現(xiàn)方便快捷的現(xiàn)場更換
-模擬 I/O 可提供系統(tǒng)和壓力驅(qū)動設(shè)定值的準(zhǔn)確控制
-提供多種渦輪分子泵 (70-700 L/s) 以及干式或油式前級泵 (3-30 m3/h) 供您選擇
-串行 RS232 通信協(xié)議結(jié)合 A-Plus 軟件可實現(xiàn)泵的運行、控制以及系統(tǒng)參數(shù)(即壓力)的記錄

技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 集成電路
  • 芯片
  • 晶圓片

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