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產(chǎn)品中心

油封旋片泵

油封旋片泵

產(chǎn)品簡介

單級和雙級旋片泵可提供多種抽速和配置。此類泵是渦輪分子泵或擴散泵的理想前級泵,也可單獨用于實驗室、分析或工業(yè)應用中。 DS 系列油封旋片真空泵型號可提供 45 - 605 L/min (1.6 - 21.4 cfm) 的抽速和 < 2 x 10E-03 mbar 的極限壓力。DS 系列泵的運行噪音水平很低。 MS 系列的大容量單級油潤滑旋片泵是具有類似抽速的大型工業(yè)泵的理想替代選擇,它具備緊湊且綠色環(huán)保的優(yōu)點。靈活的 MS 系列泵采用穩(wěn)定可靠的組件,在低壓下具有較高的抽速,噪音低且易于安裝。

產(chǎn)品概述

單級和雙級油封旋片泵適用于多種應用

單級和雙級旋片泵可提供多種抽速和配置。此類泵是渦輪分子泵或擴散泵的理想前級泵,也可單獨用于實驗室、分析或工業(yè)應用中。
DS 系列油封旋片真空泵型號可提供 45 - 605 L/min (1.6 - 21.4 cfm) 的抽速和 < 2 x 10E-03 mbar 的極限壓力。DS 系列泵的運行噪音水平很低。MS 系列的大容量單級油潤滑旋片泵是具有類似抽速的大型工業(yè)泵的理想替代選擇,它具備緊湊且綠色環(huán)保的優(yōu)點。靈活的 MS 系列泵采用穩(wěn)定可靠的組件,在低壓下具有較高的抽速,噪音低且易于安裝。

DS 102 旋片泵
DS 102 是一種雙級油封旋片泵,在 50 hz 下抽速可達 5.0 m3/h,在 60 hz 下抽速可達 3.5 CFM,并可實現(xiàn)< 2 x 10-3 mbar 的極限壓力。DS 102 采用配備集成式電源開關的通用電壓單相電機。
集成到泵中的抽氣口隔離閥可在泵的電源中斷時關閉抽氣口。該防返油閥可保持前級泵內的真空度,并防止泵油污染真空室。DS 102 配備手動氣鎮(zhèn)閥,當其打開時,可使泵達到額定的水蒸汽處理規(guī)格。

特征
-雙級設計可實現(xiàn)低至 10-3 mbar 的工作壓力和低操作溫度,并盡可能減少了低壓下的返油現(xiàn)象,同時在 10-2 mbar 的低壓范圍內具有良好的抽氣速率和氣鎮(zhèn)效果
-在全球范圍內提供單相或三相電機,適用于所有電壓和頻率。可輕松選擇操作電壓,提供了更大的靈活性,有利于規(guī)劃和減少庫存
-防返油閥和放空裝置在泵停止運行或閑置時將其隔離,同時可以防止在泵關閉或斷電故障時真空系統(tǒng)的不當放空和泵油污染
-插座型 IEC320 允許使用標準電源線,無需打開盒蓋板為電機接線
-氣鎮(zhèn)閥打開時,向泵的第二級注入干燥的空氣,此操作將使模塊升溫,從而有助于排氣并清除泵油產(chǎn)生的水蒸汽或其他可冷凝氣體

MS40+ 旋片泵
MS40+ 是 LC/MS 和 ICP-MS 儀器的理想前級泵。MS40+ 單級油封旋片泵以小巧體積提供高抽速 (40 m3/h)。這款泵配備擁有可更換排氣口過濾器元件的集成式排氣/泵油過濾系統(tǒng)。這使得該泵適用于高氣體通量工作條件,可實現(xiàn) < 5-2 mbar 的極限壓力。
安捷倫提供的 MS40+ 泵有多種轉速可供選擇,范圍從 1200 rpm 到 1620 rpm。查看每個型號的貨號,了解相應的規(guī)格。

特征
-高抽氣量,體積小巧
-變頻驅動電機可調節(jié)抽速和壓力,并降低功耗
-在 10-2 mbar 壓力范圍內實現(xiàn)高壓穩(wěn)定性
-提供 AVF Gold 和 Platinum 泵油
-提供不同轉速的泵型號

MS-101 旋片泵
Agilent MS-101 是一款大容量單級油潤滑旋片泵。MS-101 采用油循環(huán)系統(tǒng)、防止系統(tǒng)污染的防返油閥,以及可延長泵使用壽命的碳纖維復合材料葉片。MS-101 憑借低振動性能和風冷系統(tǒng),成為具有類似抽速但噪音和振動大、使用維護成本高的大型工業(yè)泵的替代選擇,具備功能強大、緊湊且綠色環(huán)保的優(yōu)點。
我們的 MS-101 泵非??煽浚ǔEc擴散 HV 泵配合用于各種工業(yè)應用,包括冶金、熱處理、真空鍍膜、電子束焊接、氦氣檢漏和液化天然氣 (LNG) 運輸?shù)取?br />
特征
-行業(yè)好的真空性能,可實現(xiàn) 8 x 10-2 mbar (6 x 10-2 torr) 的極限壓力
-高度穩(wěn)定,可滿足嚴格的應用要求
-鋼質轉子以及特殊設計的碳纖維葉片可延長泵的使用壽命,氣鎮(zhèn)閥使其可用于高水蒸汽含量的應用
-與具有相同抽速的泵相比,該泵設計緊湊且易于安裝
-采用高效的泵油循環(huán)系統(tǒng),可實現(xiàn)高度可靠的性能
-將內置的除霧器系統(tǒng)與用于泵油回收的浮動閥集成,綠色環(huán)保

技術參數(shù)

IDP-3 渦旋式干泵規(guī)格

噪音水平
55 dB(A)
寬度
5.5 in
尺寸(寬 x  x 長)
5.5 in x 7.13 in x 14.09 in
抽速 (50 Hz)

3 m3/h

50 L/min

1.8 CFM
抽速 (60 Hz)

3.6 m3/h

60 L/min

2.1 CFM
排氣口連接
? inch female NPT (10 mm hose barb provided)
操作環(huán)境溫度

5 °C  40 °C

41 °F 至 104 °F
大進氣口壓力
1.0 atm (0 psig)
極限壓力 (50 Hz) — Torr  mbar

3.3 x 10–1 mbar

2.5 x 10–1 Torr
極限壓力 (60 Hz) — Torr  mbar

3.3 x 10–1 mbar

2.5 x 10–1 Torr
運輸重量

10.5 kg

23 lbs
進樣口連接
NW16
重量(只有泵時)

9.5 kg

21 lbs
長度
14.09 in
高度
7.13 in

TriScroll 600 變頻泵

噪音水平
55–68 dB(A)
寬度
10.8 in
尺寸(寬 x  x 長)
10.8 in x 14 in x 18.35 in
抽速 (50 Hz)

全速下為 30 m3/h

全速下為 500 L/min

全速下為 17.7 CFM
抽速 (60 Hz)

全速下為 30 m3/h

500 L/min

全速下為 17.7 CFM
排氣口連接
NW25
操作環(huán)境溫度

5 °C  40 °C

41 °F 至 104 °F
大進氣口壓力
1.0 atm (0 psig)
極限壓力 (50 Hz) — Torr  mbar

9.3 x 10–3 mbar

7 x 10–3 Torr
極限壓力 (60 Hz) — Torr  mbar

9.3 x 10–3 mbar

7 x 10–3 Torr
輸入電壓
200–240 V,1?,50/60 Hz
運輸重量

39 kg

85 lbs
進樣口連接
NW40
重量(只有泵時)

31 kg

68 lbs
長度
18.35 in
高度
14 in

應用領域

  • 集成電路
  • 芯片
  • 晶圓片

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