產(chǎn)品簡介
Avantgarde PSM-65K低溫探針臺,采用小型低振動閉循環(huán)制冷，無需消耗液氦，最低溫度65K,振動小于1μm,測試溫度范圍寬，最大支持65K-350K連續(xù)變溫,耗電量小，最大輸入功率320W。
PRODUCT CENTER
產(chǎn)品中心
閉循環(huán)低溫探針臺PSM-65K系列
產(chǎn)品概述
低溫探針臺在科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學(xué)性能測試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學(xué)性能，從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。
PSM-65K低溫探針臺是的一款經(jīng)濟小巧的閉循環(huán)低溫探針臺，其緊湊型以及低振動的設(shè)計，能夠為半導(dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個＜65K-350K高低溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學(xué)測量儀器，可完成材料/器件的IV、CV、光學(xué)以及微波等參數(shù)檢測，實現(xiàn)低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。
系統(tǒng)特點：
? 采用小型低振動閉循環(huán)制冷，無需消耗液氦，最低溫度65K。
? 振動小于1μm。
? 測試溫度范圍寬，最大支持65K-350K連續(xù)變溫。
? 耗電量小，最大輸入功率320W。
? 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空 的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。
? 獨特的探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié)，能滿足最大4英寸樣品的測試。
? 探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小于100fA @1V@65K-350K。
? 真空腔材質(zhì)為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準度和穩(wěn)定性。
技術(shù)參數(shù)
參數(shù)和指標：
| 探針臺主機分類 | ||
| 型號 | PSM-65K-2 | PSM-65K-4 |
| 溫度范圍 | 65K-350K | |
| 控溫穩(wěn)定性 | +/-50mK | |
| 振動 | ＜1μm | |
| 樣品座 | ||
| 類型及材料 | 無氧銅接地鍍金樣品座 | |
| 尺寸 | 2寸 | 4寸 |
| 可選配置 | 絕緣樣品座 （最高溫度只能到400K） 同軸樣品座 （最高溫度只能到400K） 三同軸樣品座（最高溫度只能到400K） | |
| 探針臂 | ||
| 類型 | 直流探針臂 | |
| 數(shù)量 | 4 | |
| 接頭及電纜 | 三同軸接頭+極細同軸低溫電纜 | |
| 漏電流 | 100fA@1V 真空環(huán)境中 | |
| 信號頻率 | DC--50MHz | |
| 匹配阻抗 | 50歐姆 | |
| 位移范圍 | X+/- 35mm,Y+/- 12.5m，Z +/-6.5m R+/-10° | X+/- 50mm,Y+/- 12.5m，Z +/-6.5m R+/-10° |
| 光學(xué)系統(tǒng) | ||
| 顯微鏡放大倍數(shù) | 10--180倍 | |
| 分辨率 | 3微米 | |
| 視場 | 最大22mm | |
| 工作距離 | 90--100mm | |
| 真空腔 | ||
| 材料 | 鋁合金 | |
| 腔體容積 | 4L | 5.5L |
| 整體尺寸 | 800*800*600 | 900*900*600 |
| 腔體內(nèi)徑 | 124mm | 155mm |
| 視窗尺寸 | 50mm | 100mm |
| 真空腔體窗口 | 標準石英窗口 | |
| 防輻射屏窗口 | 紅外吸收窗口 | |
| 真空度 | 5E-4 torr | |
| 預(yù)留接口 | 2個探針臂接口&2個電學(xué)接口 | |
| 防輻射屏材料 | 不銹鋼 | |
| 冷卻時間 | 60分鐘到77K | 100分鐘到77K |
| 冷源 | 斯特林制冷機 | |
| 專用振動隔離桌 | ||
| 尺寸 | 800*800*800 | 900*900*800 |
| 桌推 | 固定腳&滾輪 | |
應(yīng)用領(lǐng)域
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集成電路 -
芯片 -
晶圓片
