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三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)是Avantgarde專為三維空間內(nèi)測(cè)試磁場(chǎng)強(qiáng)度并可視化呈現(xiàn)而開發(fā)的集成系統(tǒng)能夠通過軟件自動(dòng)控制三維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在X、Y、Z軸三個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，并通過高斯計(jì)實(shí)時(shí)測(cè)試磁場(chǎng)強(qiáng)度的大小，可實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)得的磁場(chǎng)強(qiáng)度數(shù)據(jù)的分析、可視化呈現(xiàn)，生成磁場(chǎng)強(qiáng)度梯度圖，包含三維視圖、俯視圖、側(cè)視圖等多種視圖。

三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)由平臺(tái)基座、三維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、高斯計(jì)組件軟件控制系統(tǒng)等組件構(gòu)成，其中三維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包含X、Y、Z三軸運(yùn)動(dòng)電機(jī)，運(yùn)動(dòng)控制器；高斯計(jì)組件包含高斯計(jì)和高斯計(jì)探頭，高斯計(jì)探頭通過高斯計(jì)探頭支架安裝在三維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上，可隨著三維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)實(shí)時(shí)測(cè)試磁場(chǎng)強(qiáng)度，并通過軟件控制系統(tǒng)進(jìn)行磁場(chǎng)強(qiáng)度數(shù)據(jù)的記錄、分析和呈現(xiàn)。

系統(tǒng)特點(diǎn)：

? 可選一維或者三維探頭和高斯計(jì)，分別用于測(cè)試一維或者三維磁場(chǎng)；

? 三維磁場(chǎng)可測(cè)試三維矢量磁場(chǎng)和X、Y、Z軸方向的磁場(chǎng)分量；
? 三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)在X、Y、Z三個(gè)方向的行程可選350mm或者200mm，運(yùn)動(dòng)速度可調(diào)；
? 高斯計(jì)探頭通過高斯計(jì)探頭支架安裝在三維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，可以通過側(cè)邊的旋鈕控制高斯計(jì)探頭上下90°旋轉(zhuǎn)。
? 通過測(cè)試軟件控制三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)運(yùn)動(dòng)，測(cè)試軟件有一鍵啟停，手動(dòng)三維掃描并記錄維掃描并記錄磁場(chǎng)、數(shù)據(jù)處理、生成梯度圖等功能；
? 測(cè)試軟件可對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)可視化呈現(xiàn)，通過生成梯度圖功能，能夠在三維視圖、俯視圖、側(cè)視圖等多個(gè)視角的視圖查看磁場(chǎng)強(qiáng)度在空間內(nèi)的分布；

參數(shù)和指標(biāo)：

三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)基座

三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)平臺(tái)基座包含樣品放置平臺(tái)、基座腔體、減振墊腳。樣品放置平臺(tái)尺寸90cm*48cm（350mm行程款），用于放置磁性樣品；基座腔體中空，內(nèi)置三維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)控制器；減振墊腳有四個(gè)，橡膠材質(zhì)，有減振效果，可通過墊腳中的螺栓調(diào)節(jié)平臺(tái)基座四個(gè)墊腳的高度。

三維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

三維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包含X、Y、Z三軸電機(jī)，運(yùn)動(dòng)控制器。運(yùn)動(dòng)控制器通過軟件控制X、Y、Z三軸電機(jī)運(yùn)動(dòng)從而帶動(dòng)高斯計(jì)探頭的運(yùn)動(dòng)，進(jìn)行空間內(nèi)磁場(chǎng)強(qiáng)度的測(cè)試。

• 集成電路
• 芯片
• 晶圓片