產(chǎn)品簡介
PSM系列室溫手動探針臺是一款高品質(zhì)的探針臺能夠?qū)?寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進(jìn)行大量非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測試設(shè)備，可以完成對器件的電學(xué)特性測量、參數(shù)測量、DC測量?？茖W(xué)的桌面設(shè)計(jì)是學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)研究的最佳選擇。
PRODUCT CENTER
產(chǎn)品中心
標(biāo)準(zhǔn)室溫手動探針臺PSM系列
產(chǎn)品概述
Avantgarde 室溫手動探針臺的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，外接不同的測量儀器，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測，用于室溫下的芯片、晶圓和器件的非破壞性測試。
PSM系列室溫手動探針臺是一款高品質(zhì)的探針臺能夠?qū)?寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進(jìn)行大量非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測試設(shè)備，可以完成對器件的電學(xué)特性測量、參數(shù)測量、DC測量?？茖W(xué)的桌面設(shè)計(jì)是學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)研究的最佳選擇。
特點(diǎn)
? 穩(wěn)定的雙位移調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可以調(diào)節(jié)樣品座和探針臂的位移。
? 樣品座可以放置最大8英寸的晶圓樣品，采用多孔分區(qū)控制氣體吸附固定。
? 移動樣品座下面的滑臺，可以實(shí)現(xiàn)最大X-Y軸±100mm的移動行程，使得樣品測試和換樣更加便捷。 滑臺采用磁力吸附固定。
? 最多可安裝6個探針臂。
? 探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動，并且可以三維微調(diào)，操作方便，扎針精準(zhǔn)，四個探針臂的探針 可以扎到樣品的任意位置。
? 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以內(nèi)。
? CCD最大放大倍數(shù)為180倍，最大工作距離為100mm。
技術(shù)參數(shù)
型號分類：
| 型號 | PSM-2 | PSM-4 | PSM-6 | PSM-8 |
| 樣品座尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
參數(shù)和指標(biāo)：
| 樣品座 | |
| 卡盤尺寸： | 2/4/6/8英寸，可定制 |
| 材質(zhì)： | 無氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區(qū)吸附有外圈、內(nèi)圈和中間三個單獨(dú)控制的氣體吸附通道 |
| 滑臺 | |
| X-Y移動行程： | 2/4寸: X-Y軸±50mm；6/8寸: X-Y軸 ±100mm |
| 讀數(shù)精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| 固定方式： | 磁鐵吸附 |
| XYZ微調(diào)移動行程： | XYZ-13mm |
| 微調(diào)可分辨精度： | 10μm |
| 探針臂數(shù)量： | 可安裝6個探針臂（左右各3個） |
| 電學(xué)線纜： | 三同軸線纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類型： | 直流探針 |
| 光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微鏡放大倍數(shù)： | 10-180倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| 顯微鏡分辨率： | 3μm（可選1μm） |
| 光源類型： | 兼配同軸和環(huán)形光源 |
| 可加選件 | |
| 光學(xué)平臺/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
應(yīng)用領(lǐng)域
-
集成電路 -
芯片 -
晶圓片
